Словарь «Прописная или строчная» В. В. Лопатина, И. В. Нечаевой, Л. К. Чельцовой (М., 2011) указывает, что прописные буквы используются при обращении к патриарху: Ваше Святейшество. Обращения к прочим духовным лицам в словаре приводятся в строчном написании: ваше высокопреосвященство, ваше преосвященство, ваше высокопреподобие и т. д.
При этом издательство Московской патриархии рекомендует при обращениях к священнослужителям любого чина писать все слова с прописной буквы:
Ваше Святейшество, Святейший Патриарх Кирилл,
Его Блаженство, Блаженнейший Папа и Патриарх,
Ваше Высокопреосвященство (для митрополитов и архиепископов),
Ваше Преосвященство (для епископов),
Ваше Высокопреподобие (для архимандритов, игуменов, протоиереев),
Ваше Преподобие (для иеромонахов и священников)
Источник: Богослужебный устав для прихожан (vk.com)
(3)